半導體產業是國民經濟基礎性支柱產業,因此在半導體生產過程中,集成電路集成度高,元器件對生產車間的無塵、濕度、靜電等指標要求特別嚴。特別是由于微粒灰塵污染、靜電放電損壞以及與此相關聯的設備停機,是靜電帶來的三大問題。在所有的半導體生產領域,由于靜電的負面效應,使得保持高水準的產品質量和成品率變得更加困難。缺少靜電控制,將導致微粒污染,靜電放電損壞和設備故障。要防止靜電的產生,關鍵的就是要通過安裝工業加濕器控制濕度和灰塵產生。
一般電子車間空氣濕度在40-60%RH之間,不會產生靜電和灰塵,產品質量也會有保證。國內外半導體企業在控制靜電上,比較行之有效的一個措施就是使用工業加濕器加濕除塵,防靜電,而比較普遍的加濕器類型就是干霧加濕器。杭州嘉友霧王推出的干霧加濕器已經應用到了國內不少半導體生產企業。
霧王干霧加濕器作為專業的電子車間加濕器,蒸發快、濕度控制效果好的特點,不管是除塵還是除靜電、防靜電,速度快、效果好。并且可以實現濕度自動感應控制,加濕范圍廣,水電利用率高,整體運行費用低。
目前,全球半導體產業的發展靠兩大輪子推動,一是不斷縮小芯片特征尺寸,二是不斷擴大晶圓尺寸。不管哪個輪子推動,防止靜電都將是影響半導體制造技術發展的關鍵。相信在工業加濕器等新產品、新技術的不斷更新下,會更好解決半導體靜電問題,進步一提高電子產品的產量和質量。
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